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检测气体：锗烷（GeH4） 检测方式：固定、在线检测，扩散式测量，管道式、泵吸式、流通式可选 检测范围：0-1ppm、20ppm可选 分 辨 率：0.001ppm、0.01ppm 精　　度：±3%FS 响应时间：≤10秒 ，固定式锗烷检测报警一体机 恢复时间：≤20秒